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工控人家園 綜合討論 超高真空環(huán)境內(nèi)用什么發(fā)熱元件加熱到800度左右，用什么材料精準(zhǔn)測(cè)溫

張平全

為國(guó)出力的時(shí)候到了

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樓主發(fā)表于: 2020-07-12 05:42

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我們做的是晶體生長(zhǎng)行業(yè)超高真空設(shè)備，需要在超高真空4.0E-11Torr環(huán)境內(nèi)把指甲大小，厚度約0.2mm產(chǎn)品加溫到800度左右，普通的發(fā)熱管，發(fā)熱片是不行的，如果有接觸到這類(lèi)國(guó)外設(shè)備的朋友們，請(qǐng)?zhí)峁﹨⒖?br />由于眾所都知的原因，我們公司已承接到國(guó)家級(jí)的一個(gè)小技術(shù)項(xiàng)目開(kāi)發(fā)，在國(guó)外這是幾十年前就有的技術(shù)，但國(guó)內(nèi)還處于空白狀態(tài)，我們需要從零開(kāi)始奮起直追，希望得到以下技術(shù)參考，謝謝

由于在回復(fù)大家的信息過(guò)程中，出現(xiàn)了多次360退出及信息被轉(zhuǎn)移的情況，有些信息我不再回復(fù)祥細(xì)技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)理解

[ 此帖被張平全在2020-07-15 23:40重新編輯 ]

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工欲善其事，必先利其器！

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1樓發(fā)表于: 2020-07-12 19:20

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補(bǔ)充7樓等離子加熱

樓主留言：

真誠(chéng)感謝！
電子束，射頻等我們都有試驗(yàn)體，這兩種方案對(duì)產(chǎn)品傷害很大，在顯微鏡下能看到，微觀上對(duì)光潔的產(chǎn)品表面造成不可再用的后果，當(dāng)然溫度也就400多度，我們的目標(biāo)是產(chǎn)品表面加熱而不是產(chǎn)品整體加熱，所有目前使用的是熱輻射加溫，對(duì)流不可以用的，腔體已經(jīng)達(dá)到外太空一樣的潔凈度環(huán)境，已試驗(yàn)偶然能成功，但無(wú)法確保穩(wěn)定重復(fù)，一直無(wú)法突破，從目前文獻(xiàn)上來(lái)看，。。。。。，再加上已知僅氬氣,氦氣對(duì)產(chǎn)品無(wú)聲無(wú)害,

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自動(dòng)化單機(jī)，生產(chǎn)線(xiàn)，項(xiàng)目編程調(diào)試！

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